ゲッター

ゲッター 1 getter 気体をよく吸着し ，真空装置内の微量の残留気体を排気するはたらきをもつもの 。チタンの蒸着膜など 。真空ポンプ 電子管などで用いられる 。

ゲッターポンプ

ゲッターポンプ 5 getter pump ゲッター材を加熱してつくった清浄面に気体分子を吸着させ ，排気を行う超高真空ポンプ 。サプリメーション -ポンプ 。