フォトレジスト

フォト レジスト 4 photoresist 薄膜にして光を照射すると ，耐薬品性の大きな硬質膜に変化する感光性材料 。ポリケイ皮酸ビニルをはじめとする感光性樹脂などが使われる 。耐薬品性の増すものだけでなく ，逆に ，薬品に溶けやすくなるものもいう 。プリント配線基板 IC LSI の製造 ，新聞などの印刷版の作製などに利用される 。