拡散ポンプ

かくさん ポンプ くわく ― 5 【拡散 ポンプ 】真空ポンプの一種 。ある程度真空にした容器中で ，水銀 油などの作動液を加熱蒸発させてノズルから高速噴出させ ，排気しようとする系内の気体分子をその蒸気の噴流により捕捉し ，補助ポンプによって排気して高真空を得るもの 。