電子ビーム

でんし ビーム 4 【電子 ビーム 】電子の流れを細くしぼり ，ほぼ直線状にしたもの 。実用上は陰極線としてつくり出すことが多い 。電場または磁場の作用で進行方向を変え ，結晶などによって回折をおこす 。X 線管 電子顕微鏡などに利用される 。電子線 （せん ）。

電子ビーム露光装置

でんしビームろこうそうち ―ろくわう ― 4 － 4 10 【電子ビーム露光装置 】電子ビームを用いて ，半導体回路を描く装置 。微細な回路をシリコンウエハー上に直接描くことができる 。