電界イオン顕微鏡

でんかい イオンけんびきょう ―けんびきやう 5 【電界 イオン 顕微鏡 】試料表面の原子配置を観察する装置 。調べようとする物質を針状にして陽極とし ，蛍光膜をつけた陰極との間に高電圧をかけ ，管内に少量のヘリウムを入れる 。陽極に衝突して生じたヘリウム -イオンが蛍光膜に直進して表面の拡大像をつくる 。倍率約100万倍 。イオン放射顕微鏡 。